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美国ACM RESEARCH佳武专营店

ACM RESEARCH半导体设备

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上海佳武自动化科技有限公司

郭经理 女士  

经营范围：ACM RESEARCH半导体设备

所在地区：上海

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美国ACM RESEARCH 背面清洗设备
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产品： 浏览次数：30美国ACM RESEARCH 背面清洗设备 
品牌： ACM RESEARCH
单价： 面议
最小起订量：
供货总量：
发货期限： 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至： 长期有效
最后更新： 2024-10-15 14:03
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详细信息
 美国ACM RESEARCH  背面清洗设备
主要优势
由伯努利夹盘对晶圆背面进行全面保护
药液回收功能可降低成本
可集成氮气二流体清洗功能
可灵活应用于湿法刻蚀工艺，如硅蚀刻及薄膜蚀刻工艺
进的喷嘴扫描系统
精密的湿法刻蚀均匀度控制
精密的化学药液供给
可灵活应用于多种衬底材料，包括重掺杂片、Bonding 片、超薄片等
特征规格
多可配至8套清洗腔体
配备晶圆翻转单元
多可配至5种药液进行清洗工艺或者湿法刻蚀工艺, RCA 药液, 氢氟酸，氢氟酸/硝酸混合液, 配方药液等
伯努利夹盘可对晶片背面全面保护
多可回收2种化学药液
 
 
 
 
 
 
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