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美国ACM RESEARCH佳武专营店

ACM RESEARCH半导体设备

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上海佳武自动化科技有限公司

郭经理 女士  

经营范围:ACM RESEARCH半导体设备

所在地区:上海

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美国ACM RESEARCH 涂胶设备
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产品: 浏览次数:29美国ACM RESEARCH 涂胶设备 
品牌: ACM RESEARCH
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-10-15 14:03
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详细信息
 美国ACM RESEARCH  刷洗设备
涂胶设备
• 可选配HMDS
• 涂胶
• 前烘
主要优势
创新的双层旋涂方法
精确的涂胶厚度和均 性控制
腔体自动清洗功能
进的热/冷盘模块
技术 进,使用便捷
特性和规格
兼容8英寸和12英寸晶片
可配 多四个涂胶腔体,并配置腔体自清洗功能
每个涂胶腔体可配有两种光刻胶喷嘴
去边(EBR)喷嘴, 预湿喷嘴, 正背面清洗喷嘴
2到8个热盘,2到6个冷却盘,1到2个HMDS模块
 
 
 
 
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