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美国ACM RESEARCH佳武专营店

ACM RESEARCH半导体设备

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上海佳武自动化科技有限公司

郭经理 女士  

经营范围:ACM RESEARCH半导体设备

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美国ACM RESEARCH 电镀设备
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产品: 浏览次数:39美国ACM RESEARCH 电镀设备 
品牌: ACM RESEARCH
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-10-15 14:03
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详细信息
 美国ACM RESEARCH  电镀设备
电镀设备
主要优势
水平式电镀腔体,无交叉污染
可单腔体维护,提高设备正常运行时间(up time)
橡胶密封技术, 更好的密封性能
二阳 技术,更好地控制均 性
灵活的工序控制
特性和规格
兼容8寸和12寸
多可配至3个Load Port
多可配至4种预湿腔体,真空控制
多可配至4 个清洗腔体
多可配至20个电镀腔体: Cu,Sn/Ag, Ni
设备尺寸: 2050 x 5950 x 2650 mm
工艺性能:
片内均 性: <5% ( 大- 小/2 平均)
片间均 性<3%
重复性: <3%
COP: < 2.0 µm
 
 
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